Fotolithagrafaidheachd ultraviolet anabarrach (EUV): an teicneòlas a tha na bhunait airson àm ri teachd chips
Faigh a-mach mar a tha litagrafaireachd EUV ag obair, cò a tha ga cumail fo smachd, agus carson a tha e deatamach airson na sgoltagan as adhartaiche agus farpais teicneòlach cruinneil.